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利用带有特殊台阶构造的Cr/Ni类型实验样品,分别采用X射线光谱法、轮廓法和截面法进行表面镀层厚度的测量,对三种方法测量结果的一致性问题进行探讨.实验结果表明,X射线光谱法的镀层厚度测量值较其它两种方法明显偏小,相对偏差甚至超过50％.由于利用X荧光测厚仪进行分析时未考虑实际样品与校准工作曲线用标准厚度片的密度差异,因此导致镀层厚度的测量值出现较大偏差.考虑到工业实际上目前普遍利用商品化标准厚度片进行X荧光测厚仪的校准,提出应对该类仪器现有计量校准体系做进一步研究.