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研究了微波电子回旋共振－化学气相沉积ＳｉＮｘ薄膜的光学性能，这种ＳｉＮｘ薄膜具有透光谱宽，透光率高的特点，总结了透光谱，折射率，光隙能随微波功率，基片温度的变化关系。
微波电子回旋共振—化学气相沉只SiNx薄膜的光学性能研究
【摘 要】
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研究了微波电子回旋共振－化学气相沉积ＳｉＮｘ薄膜的光学性能，这种ＳｉＮｘ薄膜具有透光谱宽，透光率高的特点，总结了透光谱，折射率，光隙能随微波功率，基片温度的变化关系。
【机 构】
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苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1997年4期
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