【摘 要】
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有许多测量微位移的光干涉方法,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件.提出用激光自混合干涉术测量微位移,分析和讨论了自混合
【机 构】
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南京师范大学物理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验室,清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
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有许多测量微位移的光干涉方法,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件.提出用激光自混合干涉术测量微位移,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法,用快速傅立叶变换(FFT)相位探测技术分析自混合干涉信号,可提高相位测量精度.提出的传感器可以用于亚微米级位移的测量和控制,并给出了PZT位移的实验结果.
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