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设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液......
设计了一种利用弹性铰链作为预紧机构、高精度滚动导轨作为导向机构的单 PZT驱动的微进给平台.利用有限元方法对微进给平台的结构......
跟踪伺服系统设计是APT核心技术,决定了通信链路能否建立以及通信系统的性能。针对精跟踪伺服系统设计中光斑抖动时变不确定性和PZ......
研制了一个口径为100mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350mm、k=1.112155、顶点半径为840mm的双曲面镜。为......
有许多测量微位移的光干涉方法,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件.提出用激光......
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扫描白光干涉显微测量技术是近年来发展起来的一种表面微观形貌测量技术,它具有非接触、大量程、高精度、高效率的特点。本文基于......