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基于全息激光技术的纳米级分辨力位移传感器设计
基于全息激光技术的纳米级分辨力位移传感器设计
来源 :计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pn526
【摘 要】
:
介绍了一种新型的基于全息激光技术的纳米位移传感器。全息激光技术最早广泛应用在CD,DVD等系统中,用以读取光盘信息,并对光盘进行寻迹、聚焦等。文中以采用全息激光技术的全
【作 者】
:
焦小康
孙忠辉
朱振宇
万宇
王霁
【机 构】
:
中航工业北京长城计量测试技术研究所,第三十一实验训练基地
【出 处】
:
计测技术
【发表日期】
:
2010年03期
【关键词】
:
全息激光技术
位移传感器
纳米测量
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介绍了一种新型的基于全息激光技术的纳米位移传感器。全息激光技术最早广泛应用在CD,DVD等系统中,用以读取光盘信息,并对光盘进行寻迹、聚焦等。文中以采用全息激光技术的全息激光头为核心器件,结合少量光学元件,设计出一种纳米分辨力级位移传感器,并通过实验验证了设计结果。
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