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Ti W- Au膜系结构可用于混合集成电路。Ti W与 Au的附着力对溅射气氛较敏感。采用合适的纯气 ,对气路加热抽真空 ,清洗真空腔 ,增加管路气阀等方法 ,可确保合适的溅射气氛 ,解决 Au层剥离的问题。真空腔体是否需要清洁处理 ,可用泄漏率评判
TiW-Au金属化结构的金层剥离问题
【摘 要】
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Ti W- Au膜系结构可用于混合集成电路。Ti W与 Au的附着力对溅射气氛较敏感。采用合适的纯气 ,对气路加热抽真空 ,清洗真空腔 ,增加管路气阀等方法 ,可确保合适的溅射气氛 ,
【机 构】
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西南电子设备研究所!四川成都610036;
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2000年03期
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