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两步浸蚀法是有效改善硬质合金基体表面沉积金刚石膜质量的一种预处理方法。本文采用两种不同酸剂的两步浸蚀法分别对YG6硬质合金基体进行了表面预处理，然后在其上火焰法沉积金刚石膜，初步探讨了预处理工艺不同酸剂对金刚石膜形貌、组成和结构的影响。实验结果表明，两步浸蚀法预处理能有效抑制合金基体中粘结相Co促进石墨生长的催化效应，两种火焰沉积产物已连续成膜，主要为超细金刚石、少量石墨。