二氧化硅反应离子刻蚀中氟的作用

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wqkabc0

【摘要】

：

二氧化硅反应离子刻蚀中氟的作用＝Ｒｏｌｅｏｆｆｌｕｏｒｉｎｅｉｎｒｅａｃｔｉｖｅｉｏｎｅｔｃｈｉｎｇｏｆｓｉｌｉｃｏｎｄｉｏｘｉｄｅ［刊．英］／Ｉｋｅｇａｍｌ．Ｎ．…ＪｐｎＪＡｐｅｌＰｈｙｓ．－１９９ｓ，３２（１２Ｄ）．－６０８８～６０９４用热吸附和... Role of fluorine in silica reactive ion etching = Roleoffluorineinreactiveionetchingofsilicondioxide [Issue.

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年06期

【关键词】

：

反应离子刻蚀气态氧吸附方式吸附温度氟聚合物热反应吸附态微结构

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

征收养路费和征收燃油附加费哪个办法好?

《中华人民共和国公路法》业经第八届全国人大常委会第二十六次会议于7月3日通过,将于1998年1月1日施行。《公路法》对公路养路费的征收方式进行了调整。公路养路费用采取

期刊

征收方式《公路法》八届全国人大燃油费十年私人购车消耗燃油时机问题职能问题公平合理

说说气象与行车安全

全世界每年因车祸死亡的人数大约有22万,伤残人数达800多万,其中40%的车祸与气象条件有关。据研究,在气温高于27℃的情况下,司机对紧急情况作出反应的时间要比23℃时增加0.

期刊

行车安全事故发生率气象条件雾中行车使车翻车事故运输生产侧翻轮对

浅谈公路钢桥涂漆施工技术

本文根据齐齐哈尔嫩江公路钢桥涂漆工程实践，重点论述了老旧钢桥除掉旧漆层、喷涂新保护漆的施工技术。 Based on the practice of steel bridge coating project of Qiqihar

期刊

钢桥涂漆施工技术板梁保护漆脱漆剂钢桁梁漆膜厚度漆料喷砂嘴

西太平洋上的灿烂明珠——半个世纪的上海港

黄浦江,上海的母亲河,环抱着一颗西太平洋上的灿烂明珠——上海港.一、港口货物吞吐量持续平稳发展建国以来,全国和上海市的国民经济持续、稳定、快速地增长,尤其是十一届三

期刊

港口货物吞吐量港口生产西太平洋发展规模国际港口集装箱班轮管理体制万吨级泊位国际航运中心港口装卸

神州第一桥——金水桥

说金水桥是神州第一桥并不是自我吹捧,建造年代比它早、长度比它长的桥有的是,可金水桥就敢拔这个尖儿。什么事都要论个理,您想一想,在首都北京有哪座桥比得过金水桥的位置

期刊

金水桥建造年代金水河望柱头神武门圆木《辛丑条约》不知道光绪皇帝御路

希望和道路一起延伸──我国高速公路建设一瞥

最早的车是什么样的，异域他乡的不敢妄评，我国的似已有定论：3000多年前出现的水轮牛车。不要笑，这想来行动迟缓不堪吱嘎作响的笨重家伙，简直可以说具有划时代的伟大意义，人们终于用

期刊

公路主枢纽国道主干线五纵七横二级公路规模效益出海通道交通需求社会经济发展运输成本区域经济

专题系列研究之一——论组建福建海运企业集团的必要性

福建省位于我国华东南部沿海,与台湾省隔台湾海峡相望,濒临东海,与浙江、江西、广东等省为邻,有着发展海运的优越条件。但是,由于种种原因,福建海运业的发展却一直十分缓慢,

期刊

海运企业南部沿海水运市场海运公司载重吨位航区杂货船外贸吞吐量外贸货物外贸运输

以财务管理为中心　加速公路运输企业发展

中共中央关于建立社会主义市场经济体制若干问题的决议，进一步提出了实现“两个转变”，即在经济体制上实现由计划经济向社会主义市场经济转变，在经营方式上实现由粗放型向集约化

期刊

公路运输企业财务管理成本费用支出汽车运输企业企业经营效益运输总公司内部审计财会人员会计工作内审人员

史丹利公司的EX系列破碎锤

史丹利公司的EX系列破碎锤功率更为强劲，更值得信赖。其突破性的设计包括：获得专利的阀门系统以及一个独一无二的直接作用的氮工作室，以保证冲击力不断加强。机体由两个活动的部

期刊

破碎锤EX系列史丹利挖掘装载机阀门系统建筑物拆除冲击能量

健康与生命的保障——谈第29套国际危规“散货规则”中的附录F

对海上危险品运输具有权威性解释,对航运工作提出各种具体要求和技术指导,日益趋向强制性执行的《国际危规》已由国际海事组织(IMO)完成并通过第29套修正案.这是本世纪旧版式

期刊

国际海事组织固体散货航运界危险品运输伤亡事故船上杂货船污水舱航海人员双层底

二氧化硅反应离子刻蚀中氟的作用

与本文相关的学术论文