【摘 要】
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针对光学扫描方法存在的检测设备昂贵、检测时间较长等不足,本文提出了一种基于PVDF压电薄膜阵列的微结构表面形貌感测方法。通过理论分析,得到在利用PVDF阵列检测材料微形貌
【机 构】
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武汉科技大学冶金装备及其控制教育部重点实验室,武汉科技大学机械传动与制造工程湖北省重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划资助项目(2017YFF0210701-3),湖北省自然科学基金资助项目(2016CFB581).
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针对光学扫描方法存在的检测设备昂贵、检测时间较长等不足,本文提出了一种基于PVDF压电薄膜阵列的微结构表面形貌感测方法。通过理论分析,得到在利用PVDF阵列检测材料微形貌特征曲线时平均微应变与输出电荷之间的函数关系,构建了微应变输入与电信号输出之间的数学模型,并从PVDF阵列结构的角度,分析了该检测方法产生误差的主要原因。结果表明,本文提出的基于PVDF压电薄膜阵列的微形貌感测方法精度相对较高,能够实现对材料表面形貌特征曲线的表征。
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