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太阳能电池的制造过程中,晶片要经历各种湿化学工艺。在进入半导体清洗装置前后,这些薄硅片都是由机器人进行操作的。在此对需求给出清晰定义:为了提高生产力,保证最低破损率下的最短周期是个困难的问题,需要通过使用最高水平的工业机器人来实现。
光伏产业的福音:TS60 SCARA机器人制造单元
【摘 要】
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太阳能电池的制造过程中,晶片要经历各种湿化学工艺。在进入半导体清洗装置前后,这些薄硅片都是由机器人进行操作的。在此对需求给出清晰定义:为了提高生产力,保证最低破损率
【出 处】
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现代制造
【发表日期】
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2018年31期
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