聚焦离子束用的静电单透镜特性计算

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本文介绍了利用电子计算机,设计计算聚焦离子束光学系统用的静电单透镜特性,寻求球差和色差系数较小的静电单透镜的电极结构。 In this paper, we introduce the design of the electrostatic single lens used in the Focused Ion Beam (ION) system by using an electronic computer, and find out the structure of the EO single lens with spherical aberration and small chromatic aberration coefficient.
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