【摘 要】
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针对大口径光学元件干涉测试过程中，测试装置和干涉腔长较大，气流扰动和环境振动对移相测试过程产生影响等问题，采用一种基于二维傅里叶变换的单帧干涉图处理方法，只需要对一幅空
【机 构】
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南京理工大学紫金学院,南京理工大学电子工程与光电技术学院
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针对大口径光学元件干涉测试过程中，测试装置和干涉腔长较大，气流扰动和环境振动对移相测试过程产生影响等问题，采用一种基于二维傅里叶变换的单帧干涉图处理方法，只需要对一幅空间载频干涉条纹图进行处理即可获得待测相位，具有抗振测试的优点。对该方法的基本原理和算法过程进行分析，并对近红外大口径移相平面干涉仪中600mm口径的光学平晶进行了面形测试。实验结果表明：采用该方法所得波面峰谷值（PV）为0．112A，波面均方根值（RMS）为0．0142，与移相算法所得波面数据相比，波面峰谷值偏差不到（1／500）A；波面均
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