【摘 要】
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建立包含冷热电子的无碰撞等离子体鞘层的流体模型,利用数值模拟研究含有两种温度电子时等离子体鞘层的产生.结果表明：对于含有两种不同温度电子的稳态等离子体,冷电子的温度
【基金项目】
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国家自然科学基金（51271059、11273008）,安徽省高等学校优秀青年人才基金（2012SQRL116）及安徽省高等学校省级自然科学基金（KJ20122305）资助项目
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建立包含冷热电子的无碰撞等离子体鞘层的流体模型,利用数值模拟研究含有两种温度电子时等离子体鞘层的产生.结果表明：对于含有两种不同温度电子的稳态等离子体,冷电子的温度越低或者冷电子的含量越多,鞘边离子的马赫数临界值就越小,鞘层的宽度就变得越窄,沉积器壁的离子动能流也就越少.此外,研究不同种类的等离子体（Ar、Ke、Xe）,鞘层厚度和离子沉积器壁动能流受冷电子的影响.
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