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该文以晶圆代工领导者台积电的炉管设备TEOS为例,通过标杆管理,以及时间研究、动作分析等IE手法把极限生产率的影响因素能被系统实时侦测反馈,从而让各因素变得极为显而易见,最后针对每个关键因素做突破极限的提升.
晶圆厂炉管设备TEOS极限生产速率提升研究
【摘 要】
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该文以晶圆代工领导者台积电的炉管设备TEOS为例,通过标杆管理,以及时间研究、动作分析等IE手法把极限生产率的影响因素能被系统实时侦测反馈,从而让各因素变得极为显而易见,
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院
【出 处】
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科技资讯
【发表日期】
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2015年12期
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