【摘 要】
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<正> 一种耐高温达500℃并具有感光性能的新型双功能高分子材料在我院研制成功,通过技术鉴定.这种材料在微电子领域有着广泛的用途,可作为抗蚀剂、平坦化材料、纯化层与绝缘
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<正> 一种耐高温达500℃并具有感光性能的新型双功能高分子材料在我院研制成功,通过技术鉴定.这种材料在微电子领域有着广泛的用途,可作为抗蚀剂、平坦化材料、纯化层与绝缘层、多层布线、液晶器件的调整层等.随着我国微电子事业的发展,这种耐高温的光敏材料的应用前景是喜人的,对促进电子器件向微型化、高密度化的发展,有
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