【摘 要】
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总结了毫米波混合集成电路的工艺技术。讨论了影响电路性能的关键工艺因素，优化了工艺条件，确定了最佳的工艺参数，从而研制成功了多种毫米波混合集成电路组件，为整机系统国产化及
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总结了毫米波混合集成电路的工艺技术。讨论了影响电路性能的关键工艺因素，优化了工艺条件，确定了最佳的工艺参数，从而研制成功了多种毫米波混合集成电路组件，为整机系统国产化及小批量生产创造了条件。
Summarizes the millimeter wave hybrid integrated circuit technology. The key process factors influencing circuit performance are discussed, the process conditions are optimized, the optimum process parameters are determined, and a variety of millimeter wave hybrid integrated circuit components are successfully developed, which creates the conditions for localization and small batch production of the whole system.
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