论文部分内容阅读
开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题。该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值。
一种制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺
【摘 要】
：
开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶
【机 构】
：
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
：
2008年2期
【基金项目】
：
基金项目：国家自然科学基金项目资助项目（No.50475153）,教育部新世纪优秀人才支持计划项目（No.NCET-04-0266）.
其他文献
目的:探讨院前和院后的全程延伸护理对耳鼻喉科快速康复患者心理状态及护理满意度的影响。方法:随机选择在耳鼻喉科接受快速康复的患者并分为对照组和观察组,对照组给予常规
利用真空烧结技术制备了一种可用于白光LED封装的Ce：YAG陶瓷荧光体。用X射线衍射仪、光致发光激发谱、光致发光谱等测试手段对这种陶瓷荧光体进行表征。结果表明：陶瓷荧光体的
党的十三届三中全会确定今明两年改革和建设的重点是进行治理经济环境,整顿经济秩序,全面深化改革。而金融的改革是个重要方面,特别是银行部门是宏观调控的关键部门之一。这
<正> 根据1986年全国金融研究所所长会议提出的要“集中力量搞好应用研究”的精神和刘鸿儒副行长提出的“金融研究所一要抓改革二要抓预测”的要求,两年来天津金融研究所在各
<正> 天津市经济学会、天津市环渤海经济学会和天津市体制改革研究会于1988年1月6日联合召开了“企业集团研讨会”,邀请了我市理论界专家学者、实际部门的领导以及企业界的厂
期刊
室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜－聚丙烯己二酯（polypropylene adipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜。其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚
天津市的人民储蓄事业是在天津解放后不久——1949年3月开始建立的。当时的情况是:解放不久,人们对我们的政策还不够了解,同时,由于长期受着国民党反动政权和帝国主义的剥削
目的探讨Askin瘤的临床特征.方法根据收治的2例病例结合文献复习,对本病的起源和本质、病理特征、临床表现、诊断和鉴别诊断、治疗和预后进行系统地阐述.结果 Askin瘤起源于
<正> 近年来,随着经济体制改革的不断深入,产品经济向有计划的商品经济过渡,“没钱也能办事”的日子一去不复返了。资金供求矛盾日益突出,成为困扰我们的一大难题,城市改造要