激光分子束外延法制备氟铝共掺氧化锌薄膜及其物性研究

来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lzd_1983

【摘要】

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采用激光分子束外延方法,将高熔点的AlF3和ZnO混合后制成高质量靶材,制备出具有高电导率和热稳定性的氟、铝共掺氧化锌薄膜（AFZO）,并研究了AZO和AFZO的光电性质随退火条件的变

【作者】

：

马剑钢林东

【机构】

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东北师范大学物理学院

【出处】

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物理实验

【发表日期】

：

2016年9期

【关键词】

：

氟铝共掺氧化锌激光分子束外延透明导电锌空位

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采用激光分子束外延方法,将高熔点的AlF3和ZnO混合后制成高质量靶材,制备出具有高电导率和热稳定性的氟、铝共掺氧化锌薄膜（AFZO）,并研究了AZO和AFZO的光电性质随退火条件的变化,探讨了AZO薄膜缺陷的性质及其形成和作用机理.研究表明受主型缺陷——锌空位是导致在空气退火时AZO电学性质劣化的主要原因,而氟掺杂可以抑制锌空位的形成.

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