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期刊论文
用边界元素法模拟FP—JTE终端结构
用边界元素法模拟FP—JTE终端结构
来源 :计算物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:antony86
【摘 要】
:
提出了一种无须进行电离积分的用于高压结终端模拟的边界元素法,分析了界面电荷对FP-JTE终端结构的击穿电压的影响,结果表明击穿电压几乎与界面电荷浓度呈线性关系,场板可减少弱界面电
【作 者】
:
武自录
罗晋生
【机 构】
:
西安交通大学微电子工程系
【出 处】
:
计算物理
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
边界元
场板
平面结终端
终端扩展
集成电路
Boundary Element Method
field plate
planar junction ter
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提出了一种无须进行电离积分的用于高压结终端模拟的边界元素法,分析了界面电荷对FP-JTE终端结构的击穿电压的影响,结果表明击穿电压几乎与界面电荷浓度呈线性关系,场板可减少弱界面电荷对击穿电压的影响。
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