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用增强的等离子体离子氮化形成氮化铝

来源 :国外核聚变与等离子体应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenfenglianxi

【作 者】

：

Mele. EL 唐源 

【出 处】

：

国外核聚变与等离子体应用

【发表日期】

：

1993年5期

【关键词】

：

氮化铝 辉光放电 等离子体应用 

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