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期刊论文
类金刚石碳膜的热学特性
类金刚石碳膜的热学特性
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:clear0102
【摘 要】
:
利用珀尔帖效应,采用三夹层技术测量了类金刚石碳(DLC)膜的热传导率,并指出在高离子轰击能量和低CH_4气压下。通过rf等离子体沉积所制得的DLC膜具有好的热稳定性,其热传导率
【作 者】
:
杨伟毅
王广林
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
1992年5期
【关键词】
:
DLC膜
PELTIER效应
类金刚石
【基金项目】
:
江苏省科委资助
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利用珀尔帖效应,采用三夹层技术测量了类金刚石碳(DLC)膜的热传导率,并指出在高离子轰击能量和低CH_4气压下。通过rf等离子体沉积所制得的DLC膜具有好的热稳定性,其热传导率为2.1—2.4W/cm.deg。
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