微波氢等离子体的特性

来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yaohaochang

【摘要】

：

在MPCVD装置中,通过调节微波功率和反应腔压强,使用高分辨率多道光谱仪采集氢气的Hα线.由谱线的多普勒展宽计算得到氢等离子体中的离子温度.结果显示,随着微波功率的增大,离

【作者】

：

郑晓毅徐伟

【机构】

：

广州大学物理与电子工程学院

【出处】

：

物理实验

【发表日期】

：

2011年8期

【关键词】

：

氢等离子体微波放电多普勒展宽离子温度 hydrogen plasma microwave discharge Doppler broadening ion

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在MPCVD装置中,通过调节微波功率和反应腔压强,使用高分辨率多道光谱仪采集氢气的Hα线.由谱线的多普勒展宽计算得到氢等离子体中的离子温度.结果显示,随着微波功率的增大,离子温度会先升高后降低;随着反应压强的增大,离子温度也先升高后降低.这说明在MPCVD装置中,可以通过调节装置,得到最佳微波能量吸收点.

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