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目前,三氟化氯正被研究作为一种半导体干气体蚀刻剂。这是因为它有很高的蚀刻速率和选择性。由于这种气体刚用于电子工业,故本文将对该化合物的物理和化学性质进行评论,并提供管理NF3的资料,以及检漏和排除泄漏的方法。
三氟化氮—一种新型干蚀刻气
【摘 要】
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目前,三氟化氯正被研究作为一种半导体干气体蚀刻剂。这是因为它有很高的蚀刻速率和选择性。由于这种气体刚用于电子工业,故本文将对该化合物的物理和化学性质进行评论,并提
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1985年03期
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