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采用ＰＥＣＶＤ方法，分别淀积了ＳｎＯ２－Ｆｅ２Ｏ３，ＳｎＯ２－ＴｉＯ２－Ｆｅ２Ｏ３等双层和三层气敏薄膜材料，制成了旁热式传感器，实验结果表明，这种多层结构的元件对乙醇有很高的灵敏度与选择性。
多层薄膜高性能乙醇传感器
【摘 要】
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采用ＰＥＣＶＤ方法，分别淀积了ＳｎＯ２－Ｆｅ２Ｏ３，ＳｎＯ２－ＴｉＯ２－Ｆｅ２Ｏ３等双层和三层气敏薄膜材料，制成了旁热式传感器，实验结果表明，这种多层结构的元件对乙醇有很高的灵敏度与选择性。
【机 构】
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吉林大学电子工程系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1997年2期
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