【摘 要】
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介绍了一种新型的基于动态聚焦探测法的光学轮廓仪,该仪器可实现表面形貌的快速、非接触测量,其最大测量范围为500μm,最小分辨率可达10nm,文中详细地描述了该轮廓仪的工作原理、关键技术
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介绍了一种新型的基于动态聚焦探测法的光学轮廓仪,该仪器可实现表面形貌的快速、非接触测量,其最大测量范围为500μm,最小分辨率可达10nm,文中详细地描述了该轮廓仪的工作原理、关键技术的实现及其应用。
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