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光针式相关论文
光针式轮廓仪的研制
介绍了一种新型的基于动态聚焦探测法的光学轮廓仪,该仪器可实现表面形貌的快速、非接触测量,其最大测量范围为500μm,最小分辨率可达10nm,文中......
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表面形貌
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聚焦探测
光针式
轮廓仪
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