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研究了SiO2薄膜的微结构与水吸收特性之间的内在联系,分别在Si、Al2O3和JGS3基底应用电子束蒸发沉积SiO2薄膜。实验用原位傅里叶红外漫反射光谱（in-situ DRIFTS）检测薄膜水吸收特性，并结合原子力显微镜（AFM）进行微结构分析。实验发现：常温吸附状态时，薄膜表面的孔隙数目越多，SiO2薄膜水吸收量越大；薄膜表面粗糙度影响薄膜水吸收特性；升温过程薄膜出现退吸附现象以及蓝移效应。