【摘 要】
：
介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。仅用了６个需加工的零件，构造出了直接对１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质且检查分析的多模式测量仪器。通过
论文部分内容阅读
介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。仅用了６个需加工的零件，构造出了直接对１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质且检查分析的多模式测量仪器。通过更换测头，可以在扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）、磁力显微镜（ＭＰＭ）与静电力显微镜（ＥＦＭ）模式下工作。本文给出了部份试验结果，如高定向石墨的原子图像、光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。
A high sensitivity scanning probe microscope (SPM) with a wide measurement range (140 × 140 μm 2) is introduced. Using only six parts to be machined, a multimode measuring instrument was constructed that directly examined and analyzed the 130 mm disk, the nano-topography of the disk, and the integrated circuit chip photolithography. By changing the touch probe, you can work in STM, AFM, MPM and EFM modes. In this paper, some experimental results are given, such as atomic images of highly oriented graphite, gratings and ultra-precision grinding of the surface of the nano-scale topography.
其他文献
金魁先生:您编的《书简》收到了。其中鲁迅手书和孙犁、屠岸等人的信札都一一读了。这些久远的文字,很鲜活,使我感动。您深切了解书简的文化魅力,并筹办出这个刊物,实在敬佩
本文叙述了一种用于共焦激光扫描显微镜的高精度扫描器。由于它采用数字电路，所以同步准确，线性及重复性好．实现了高精度扫描。
This article describes a high-precision scan
犹记得樱花开的样子,满树都是粉的、白的小花,簇拥在枝干上,仿佛是在看来来往往的人。总是想走近她旁边,眯上眼睛,只留一丝缝隙充满她的颜色,静静地感受她的美好。却不料,再
教师倾听的根本目的是倾听生命和呼应生命。但生命并非抽象的生命,它具体体现在各种欲望、需求、情感、思想,体现在个体生命的差异和区别之上。
The fundamental purpose of
为提高农业机械操作人员安全生产意识和操作技能,正确掌握农业机械的维护、保养和故障排除技术,促进农业增效、农民增收,汕头市澄海区农业局2011
In order to improve safet
2013年12月2日至3日,全省企业退休人员社会化管理服务工作会议在淄博召开。会议的主要任务是:总结前期社会化管理服务工作,分析当前的新形势和新任务,明确2014年工作目标和要
高山上的细小急流最后常会变成又宽又平静的河流流入海中,其中历经不同的阶段,并且经过各种景观,完成全程。溪流的水源有二,一是在地衰上流动的水,另一则是从岩石中涌出的地
单位:元/吨品名规格条件北京沈}二日天津武汉长沙上海成都白银}兰州广州组病1#挂牌!800()185(X)176(犯!75(X)1750()盆,叹扣习代成交178(X)178(X)175(X)l740()1763017400175(X
常听学生这样说:“不知道怎么了,一学到初三物理的电功、电功率,整个人就傻了,公式都混在了一起,题也不会做,越学越无趣!我可不想栽在这一科上,可我该怎么办?”
Listen to s
【纠纷背景】陈某是江西省全南县城厢镇某公司退休职工,2012年10月15日,应邀参加本公司老年体协组织的钓鱼活动。在水库钓鱼时,陈某下水捞钓竿,不幸溺水死亡。陈某家属认为,