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采用５种特殊工艺技术，研制出Ｆ０７／Ｆ１０１／Ｆ１０８三种耐高温集成电路，具有在１７５℃下能够正常工作参数规范。
耐高温集成电路的研制
【摘 要】
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采用５种特殊工艺技术，研制出Ｆ０７／Ｆ１０１／Ｆ１０８三种耐高温集成电路，具有在１７５℃下能够正常工作参数规范。
【机 构】
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国营第七四九厂
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年3期
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