【摘 要】
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本文简要地叙述了真空微电子学的主要进展,在介绍场发射阵列FEA、场发射显示器FED、真空微电子微波毫米波器件等的发展过程中,重点叙述了有关器件对FEA的特殊要求、可能的解
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所 北京 100080,北京 100080,北京 100080
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本文简要地叙述了真空微电子学的主要进展,在介绍场发射阵列FEA、场发射显示器FED、真空微电子微波毫米波器件等的发展过程中,重点叙述了有关器件对FEA的特殊要求、可能的解决办法和存在的问题,并介绍了发展真空微电子微波管的主要内容和意义;最后提到了有效地发展我国真空微电子器件需重视的一个问题.
This article briefly describes the major advances in vacuum microelectronics. During the development of field emission arrays (FEA), field emission displays (FEDs), vacuum microelectronics and microwave millimeter-wave devices, the special requirements of FEA devices are described. The solution and the existing problems, and introduces the main contents and significance of developing vacuum microelectronic microwave tube. Finally, it points out a problem that needs to pay attention to effectively develop vacuum microelectronic devices in our country.
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