【摘 要】
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该装置是测定半导体集成电路的微细图型线宽用的,采用共焦点光学系统,能够测到0.4μm的线宽,每小时能测40片,能生产出
The device is used to determine the semiconductor
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该装置是测定半导体集成电路的微细图型线宽用的,采用共焦点光学系统,能够测到0.4μm的线宽,每小时能测40片,能生产出
The device is used to determine the semiconductor integrated circuit fine pattern linewidth, the use of confocal optical system, can measure 0.4μm linewidth, can measure 40 pieces per hour, can produce
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