【摘 要】
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研究了硫化热处理工艺参数对磁控溅射Fe膜转变为FeS2膜的作用。结果表明,在80kPa硫化压力条件下,400℃等温1h或200℃等温10h便可使Fe膜开始产生硫化反应;400℃、60kPa等温20h的热处理条件可使硫化产物最接近FeS2计量成分
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研究了硫化热处理工艺参数对磁控溅射Fe膜转变为FeS2膜的作用。结果表明,在80kPa硫化压力条件下,400℃等温1h或200℃等温10h便可使Fe膜开始产生硫化反应;400℃、60kPa等温20h的热处理条件可使硫化产物最接近FeS2计量成分;硫化温度升高可使薄膜中的FeS2晶粒尺寸增大。
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