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设计了一种用准分子激光烧蚀法制备高温超导薄膜与器件的真空系统。它由主室、副室、若干机械手、分子泵等组成。主室允许人们轮流淀积５种不同材料的薄膜并能原位更换掩模，副室可实现等离子体刻蚀或反应离子刻蚀，随后可在不暴露大气的情况下将样品转移至主室。文中描述了关键部件的功能与结构。
准分子激光淀积装置真空系统的设计
【摘 要】
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设计了一种用准分子激光烧蚀法制备高温超导薄膜与器件的真空系统。它由主室、副室、若干机械手、分子泵等组成。主室允许人们轮流淀积５种不同材料的薄膜并能原位更换掩模，副室
【机 构】
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南京大学仪器厂
【出 处】
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南京大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金,南京大学固体微结构物理实验室资助
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