【摘 要】
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近年来,表面等离激元(SP)增强的金属纳米结构中热载流子产生、传输和收集得到了广泛而深入的研究.其中,利用电子隧穿和热发射效应实现的全新光电转换机制,结合平面化制作和CM
【机 构】
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暨南大学纳米光子学研究院,广东广州510632
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近年来,表面等离激元(SP)增强的金属纳米结构中热载流子产生、传输和收集得到了广泛而深入的研究.其中,利用电子隧穿和热发射效应实现的全新光电转换机制,结合平面化制作和CMOS兼容集成等,有望成为硅基红外光电探测的备选方案.目前这类探测器主要为金属-半导体肖特基结的光伏型器件,其光电响应较弱.为此,报道了一种基于金属-硅复合无序纳米结构的光电导器件,得益于无序表面等离激元局域热点效应和多叉指金属-半导体-金属(MSM)结构的显著光电导增益,实验获得了硅亚带隙的宽带强光电响应.该热载流子介导的多叉指MSM器件在1310 nm波长处的光电流响应度高达2.50 A/W.
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