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就Ｃ对ＴｉＣＮ系膜层的硬度，对磨性，与Ｆｅ基材料的磨擦系数和粘附倾向的影响进行了试验研究。借助于ＳＥＭＡＥＳ，ＸＲＤ，ＷＤＳ等手段，对Ｃ在ＴｉＣＮ系膜层的行为，作用进行了初步探讨。
C对多弧离子镀TiCN系超硬薄膜性能的影响
【摘 要】
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就Ｃ对ＴｉＣＮ系膜层的硬度，对磨性，与Ｆｅ基材料的磨擦系数和粘附倾向的影响进行了试验研究。借助于ＳＥＭＡＥＳ，ＸＲＤ，ＷＤＳ等手段，对Ｃ在ＴｉＣＮ系膜层的行为，作用进行了初步探讨。
【机 构】
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江西省科学院应用物理研究所
【出 处】
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机械工程材料
【发表日期】
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1997年2期
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