基于电容传感器的大型工件圆度误差测量系统

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 5次 | 上传用户:miocoo_daniel
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轴类回转工件的圆度误差是衡量机床加工水平的重要指标。针对大直径轴类工件无法采用传统圆度仪进行圆度误差测量,介绍了三点法测量轴类回转工件圆度误差的理论基础、数学模型。采用非接触式电容传感器进行微位移测量,介绍了传感器结构与测量电路基本原理,搭建了适用于圆度误差测量基于电容传感器的硬件系统,应用虚拟仪器技术开发了可用于数据采集、线性校正、误差分离与评定的专用测试系统。最后进行了测试实验,通过对多次测量数据的分析评定测量系统的可靠性与精度。
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