【摘 要】
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本文以菲涅耳衍射透镜的设计为例,在单位周期内的相位台阶数与最小特征尺寸之间关系的基础上,提出了减小元件边缘单位周期内的台阶数,以增大最小特征尺寸的一种新的设计大数
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本文以菲涅耳衍射透镜的设计为例,在单位周期内的相位台阶数与最小特征尺寸之间关系的基础上,提出了减小元件边缘单位周期内的台阶数,以增大最小特征尺寸的一种新的设计大数值孔径衍射元件的优化设计方法.并对衍射效率进行了讨论.确定了多台阶衍射透镜优化设计的结构参数.最后给出了设计实例,与深浮雕法和相位匹配法比较,本方法设计的元件仅需套刻3次,而衍射效率的理论值达55.4 %,是一种有效的优化方法.
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