机床传动链感应同步器高精度测量系统

来源 :山东工业大学学报 | 被引量 : 5次 | 上传用户:cuitlcm
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对感应同步器一类相位调制型传感器信号 ,首次提出了一种基于高频时钟填充细分的新型“FM- FD- FM”细分测量原理和相应的硬件实现方案 ,用于机床传动链精度的测量 ,可使感应同步器角位移测量分辨率达 0 .0 2 5″(线位移达 0 .0 1 5μm) .开发了相应的微机硬件测量系统
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