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利用脉冲激光沉积法在石英衬底上制备了镓掺杂氧化锌（ZnO：Ga）透明导电薄膜,研究了衬底温度对薄膜的结构、表面形貌和光电性能的影响。研究表明：制备的ZnO：Ga薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜。随着衬底温度的增加,衍射峰明显增强,晶粒尺寸增大。当衬底温度为450℃时,薄膜的最低电阻率为8.5×10–4Ω.cm,在可见光区平均光透过率达到87%以上。