【摘 要】
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分析传统的频率调制正弦光栅用于3步相移相位测量剖面术时，系统非线性对测量精度的影响，提出采用二元频率调制光栅，提高3步相移相位测量剖面术计算绝对相位测量精度的方法．完成了
【基金项目】
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国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ49087901);四川省人才基金([2015]100-12)
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分析传统的频率调制正弦光栅用于3步相移相位测量剖面术时，系统非线性对测量精度的影响，提出采用二元频率调制光栅，提高3步相移相位测量剖面术计算绝对相位测量精度的方法．完成了分别采用传统正弦频率调制光栅投影和基于Floyd-Steinberg二元编码频率调制光栅投影的相移剖面术的绝对相位计算结果对比．结果表明，采用正弦频率调制光栅模板的3步相移算法对系统的非线性敏感，而二元编码频率调制光栅模板既保持了利用单组条纹投影就可计算条纹绝对相位的优点，又不受系统非线性的影响，大大提高了基于频率调制光栅的相移剖面术的测
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