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探索了双氧水和半透膜结合的新的无机盐溶胶—凝胶工艺方法制各纳米SnO_2气敏材料,对SnO_2进行了1.5%(wt%)PdCl_2掺杂。气敏性能测试表明,掺杂后制各的元件在2.5V加热电压下对5000 ppm的CH_4,灵敏度均接近5,分析后认为PdCl_2掺杂烧结后形成的PdO微晶表面的氧缺陷能够吸附更多的氧,产生溢流效应增加元件灵敏度。