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采用溶胶-凝胶法水解缩合3-缩水甘油醚基丙基三甲基硅烷(GPMS)和正硅酸乙酯(TEOS),制备了TEOS改性的3-缩水甘油醚基丙基倍半硅氧烷,用凝胶渗透色谱GPC进行了表征和确认,浸渍法使其在玻璃基体上成膜.用划痕法通过MTS Nano Indenter XP纳米压痕仪测试了有机-无机杂化膜的结合强度和划痕形貌,测试结果表明:适当添加TEOS可提高有机-无机杂化膜的膜基结合强度,W(TEOS)15%处膜基结合强度达到最大值.