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采用格林函数法，考虑径向边界条件和对流热损失，理论上求解了有限尺寸高反射光学元件在激光作用下的热传导方程，获得了样品内的温度场分布。为验证所求解，模拟计算了不同光斑形状和光斑尺寸激光束照射下样品的温升曲线，并与有限元数值计算结果进行了比较，获得了较好的一致性，讨论了此精确物理模型中不同热交换系数对激光束照射下光学薄膜样品温升的影响。结果表明：热交换系数越大，样品内的温度分布越趋于平衡。