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介绍了纳米CMOS器件、纳米电子器件和量子器件的发展动态,提出以信息载体来分类纳米器件的方式.在纳米CMOS器件方面,主要介绍近半年来65 nm工艺及器件的最新动态;在纳米电子器件方面,主要介绍共振隧穿器件(RTD)的动态;在量子器件方面,主要介绍量子器件和半导体自旋器件的概况.
纳米器件的发展动态
【摘 要】
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介绍了纳米CMOS器件、纳米电子器件和量子器件的发展动态,提出以信息载体来分类纳米器件的方式.在纳米CMOS器件方面,主要介绍近半年来65 nm工艺及器件的最新动态;在纳米电子
【机 构】
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无锡市罗特电子有限公司
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
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2005年8期
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