衬底温度对反应磁控溅射制备AlN压电薄膜的影响

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangcaihong121

【摘要】

：

采用反应磁控溅射法在Si(111)衬底上沉积了AlN薄膜.XRD分析表明,在5种温度下,AlN均以(100)面取向,衬底温度的提高有利于薄膜结晶性的改善,在600℃以上时AlN中Al-N0键断裂,仅

【作者】

：

王忠良刘桥

【机构】

：

贵州大学

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2005年7期

【关键词】

：

无机非金属材料 AlN压电薄膜反应磁控溅射择优取向

【基金项目】

：

贵州省自然科学基金资助项目:黔科合计(2004)3028号

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用反应磁控溅射法在Si(111)衬底上沉积了AlN薄膜.XRD分析表明,在5种温度下,AlN均以(100)面取向,衬底温度的提高有利于薄膜结晶性的改善,在600℃以上时AlN中Al-N0键断裂,仅出现(100)衍射峰.AFM分析显示,在600℃时平均晶粒尺寸90nm,Z轴最高突起仅为23 nm.

其他文献

中英文L~AT_EX(CJK+L~AT_EX)排版软件使用示例

本文主要介绍科技排版软件LATEX在排版过程中会涉及到的常见问题,然后给出这些问题的具体解决办法.

期刊

LATEXCJK宏包命令参数

影响室内空气污染的不确定因素的灰色系统分析研究

长期以来，人们认为室内环境要优于室外环境，其实不然。由于不良通风和大量化学合成剂在建筑材料中的使用，使得室内空气污染物的浓度有时要高于室外。人们在这种环境下生活和工作

学位

灰色系统理论室内空气品质灰参数灰色非本征模型灰色关联度灰色权函数

《周礼》官计文书与战国时期的行政考核——竹简秦汉律与《周礼》比较研究(十七)

《周礼》中国家实施的各种考核措施统称为"官计"。官计文书是考核制度运行的有效载体,其写作、传递和管理程序都已经标准化、制度化。出土的秦汉简牍中的相关记录已经证明了

期刊

《周礼》官计文书秦汉简牍

2012中国企业家犯罪媒体案例分析报告

<正>前言一、报告的宗旨:客观反映中国企业家犯罪的基本现状,揭示中国企业及企业家存在和发展状况,为有效预防企业家犯罪和促进企业及企业家的健康成长提供决策参考和研究素

期刊

企业家犯罪犯罪所得案例分析

对Gender译为“社会性别”的几点质疑

如何翻译“Gender”一词，是中国学界一个不可回避的问题。在一些学者和项目的推动下，用“社会性别”来翻译“Gender”，在20世纪90年代中期之后越来越流行。但译为“社会性别”一

期刊

性别社会性别Gender翻译

嘉兴市农村宅基地置换模式的现状及意义

土地制度影响着"三农"的发展,嘉兴市"两分两换"的宅基地置换模式是对土地流转制度的积极探索。通过分析宅基地置换前所存在的问题,根据嘉兴市宅基地置换政策,结合宅基地流转

期刊

三农宅基地浙江嘉兴土地流转

基于灰色系统理论的室内空气品质的评价及应用研究

随着人们对生活质量和生存环境要求的日益提高，室内空气品质成为近20年来建筑环境领域的一个研究热点。针对室内空气品质问题本身及其影响因素存在的不确定性，本文围绕室内空气

学位

室内空气品质灰色系统理论不确定性综合评价

我国超级市场营销策略研究

超级市场在世界范围内的兴起与发展彻底改变了传统零售业的面貌，并深刻地影响了人们的购物习惯乃至日常生活。现代超级市场的主要特征是：1）以顾客自助服务

学位

超级市场市场营销发展

汽车安全气囊工作过程计算机仿真理论与试验验证技术研究

汽车安全气囊作为一种辅助的乘员约束系统，在汽车发生碰撞时保护车内乘员的效用已越来越得到肯定。对安全气囊的研究，尤其是对安全气囊的计算机仿真研究显得越来越重要。作为这

学位

安全气囊计算机仿真试验验证

基于CAN总线的电力远程监测系统研究

远程监测管理是实现电力系统自动化的关键。本文综述了电力远程监测领域技术现状，总结了现有电力远程监测系统的优点与不足，提出并研制了一种通信距离远、数据传输速度快、监测

学位

电力远程监测CAN总线集中器通信信道增强模式

衬底温度对反应磁控溅射制备AlN压电薄膜的影响

与本文相关的学术论文