【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜,X射线衍射（XRD）结果表明：晶粒尺寸随退火温度的升高而增大,与原子力显微镜（AFM）分析薄膜表面形貌的结果相符;UV-Vis吸收谱线表明,在ZnO带
【机 构】
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白城师范学院物理系,通化师范学院物理系,长春理工大学材料科学与工程学院
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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜,X射线衍射（XRD）结果表明：晶粒尺寸随退火温度的升高而增大,与原子力显微镜（AFM）分析薄膜表面形貌的结果相符;UV-Vis吸收谱线表明,在ZnO带边吸收的位置出现较强的吸收,并得到600℃退火处理的薄膜禁带宽度为3.23 eV;室温光致发光谱表明,所有薄膜均在386.5 nm处出现一个紫外发射峰,当退火温度升高时,深能级发射受到抑制.
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