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为了研究目前主流微加工表面检测方式，本文选择三种基本材料：K9玻璃、金属、陶瓷三种不同材料在同等条件下采用不同工艺进行加工，并使用目前主流超光滑表面测试仪器对其进行检测。通过对照结果，分析各仪器测量原理、分辨力决定因素，区分造成测量误差的原因及它们各自对粗糙度参数的影响。
基于三种不同材料的超光滑表面性能测量结果的对比研究
【摘 要】
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为了研究目前主流微加工表面检测方式，本文选择三种基本材料：K9玻璃、金属、陶瓷三种不同材料在同等条件下采用不同工艺进行加工，并使用目前主流超光滑表面测试仪器对其进行检测
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京长城计量测试技术研究所
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2009年10期
【基金项目】
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北京市自然科学基金（基金号3052012）,304航空基金（基金号：2007ZD44002）.
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