面向扑翼微飞行器的扭矩传感器研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 2次 | 上传用户：xm121

【摘要】

：

由于仿昆虫扑翼微飞行器需要在小范围内传输扭矩,且扭矩数值较小,一般的扭矩传感器或力传感器在其动态范围内均难以达到测量精度的要求。为了解决这一问题,提出了一种新型单轴扭矩传感器的设计方案,并完成了实际的制造和测试。该扭矩传感器的主体为殷钢材料,由激光加工制作而成,利用电容式位移传感器测量主轴旋转时目标板的位移,从而建立输出电压与施加扭矩之间的对应关系。传感器带宽和分辨率与微飞行器飞行实验的标准相匹配

【作者】

：

周靖张卫平邹阳王晨阳孟冉靖霄

【机构】

：

上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海市北斗导航与位置服务重点实验室，上海200240

【出处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2019年03期

【关键词】

：

微飞行器单轴扭矩传感器敏感元件测试范围分辨率 micro-aircraft single-axis torque sensor sensitive co

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