【摘 要】
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介绍了2.45 GHz袖珍永磁微波离子源的进展,源的外廓尺寸Φ100 min×100mm,重量小于5 kg。它可工作于脉冲和连续两种放电模式。在微波功率500 W、引出电压45 kV及等离子体电极
【机 构】
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介绍了2.45 GHz袖珍永磁微波离子源的进展,源的外廓尺寸Φ100 min×100mm,重量小于5 kg。它可工作于脉冲和连续两种放电模式。在微波功率500 W、引出电压45 kV及等离子体电极发射孔径为5 mm的条件下,对于脉冲模式,峰值流强为100 mA,柬流密度500 mA／cm2;而对于连续模式,流强为60 mA,束流密度300 mA／cm2。两种模式的质子比均可达到80％,归一化均方根发射度小于0．1πmm·mrad。
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