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常用的硫化锌衬底增透膜系存在硬度低，保护效果差等问题，难以满足在恶劣环境使用的要求。在真空中用准分子激光制备了高红外透射率、高硬度的类金刚石(DLC)膜，与其他常见的红外薄膜材料共同组成DLC复合增透保护膜系。优化了纯DLC膜的工艺与性能。将锗片固定在石墨靶材表面组成复合石墨靶材，采用准分子激光聚焦烧蚀真空中的复合靶材，沉积出无氢掺锗DLC膜。发现硅、锗衬底上纯DLC膜少量掺锗后，DLC膜的SP3键含量提高，但透射率略微降低，内应力有所增加。因此，复合膜系中选用纯DLC膜，通过优化黏附层结构及DLC膜厚度等方法，得到了性能明显提高的DLC复合增透保护膜系。该膜系具有远红外波段透射率高、牢固性好和耐划伤等优点，并通过了水煮实验、军标胶带和摩擦实验。